Per completare il processo di lucidatura, dobbiamo effettuare la configurazione di base. Oltre a preparare la lucidatrice, dovremmo anche preparare il tampone di lucidatura. Ci sono molte classificazioni di pastiglie di lucidatura, materiali diversi, e ognuno ha i suoi punti di forza. Possono essere usati nella lucidatura

Allo stato attuale, la lucidatura meccanica chimica è ampiamente utilizzata nella lavorazione dell'intercaviazione della planarizzazione dei wafer del substrato e del cablaggio multistrato. Il pad di lucidatura è una parte importante del sistema di lucidatura meccanica chimica (CMP). Ha le funzioni di conservare il liquido di lucidatura e il trasporto

I cuscinetti di lucidatura sono anche chiamati pelli di lucidatura, panni di lucidatura, pad di lucidatura, cuscinetti di lucidatura, e sono importanti materiali ausiliari che determinano la qualità della superficie in lucidatura meccanica chimica. I cuscinetti di riflessione possono essere suddivisi in pastiglie di lucidatura abrasive e pastiglie di lucidatura non abrasiva in base al fatto che