Il pad di lucidatura viene realizzato mescolando particelle di silice nano-scala con un legante ad alta efficienza e quindi rivendicando uniformemente la superficie del film in poliestere e quindi asciugatura e reazione di indurimento.

Il pad di lucidatura a diamante è adatto per macchini elettrici o pneumatici portatili, quindi il giunto è collegato, la potenza è di 750-1500 W e la velocità 2000-10000 rivoluzioni. Quando si lavora, applicare una certa pressione sulla macchina mentre si esegue l'acqua 4-5 volte sulla superficie della pietra da levigare, quindi è possibile sostituire la piastra di macinazione più fine n. 1.

Allo stato attuale, la lucidatura meccanica chimica è ampiamente utilizzata nella lavorazione dell'intercaviazione della planarizzazione dei wafer del substrato e del cablaggio multistrato. Il pad di lucidatura è una parte importante del sistema di lucidatura meccanica chimica (CMP). Ha le funzioni di conservare il liquido di lucidatura e il trasporto

I cuscinetti di lucidatura sono anche chiamati pelli di lucidatura, panni di lucidatura, pad di lucidatura, cuscinetti di lucidatura, e sono importanti materiali ausiliari che determinano la qualità della superficie in lucidatura meccanica chimica. I cuscinetti di riflessione possono essere suddivisi in pastiglie di lucidatura abrasive e pastiglie di lucidatura non abrasiva in base al fatto che